原子荧光剖析法是以原子在辐射能激发下发射的荧光强度进行定量剖析的发射光谱剖析法。但所用仪器与原子吸收光谱法相近。原子荧光光谱剖析法具有很高的灵敏度，校正曲线的线性规模宽，能进行多元素一起测定。原子荧光光谱是介于原子发射光谱和原子吸收光谱之间的光谱剖析技术。

其基本原理是经过测量待测元素的原子蒸气在必定波长的辐射能激发下发射的荧光强度而进行定量剖析。原子荧光的波长在紫外、可见光区。气态自由原子吸收特征波长的辐射后，原子的外层电子从基态或低能态跃迁到高能态，约经10-8秒，又跃迁至基态或低能态，一起发射出荧光。若原子荧光的波长与吸收线波长相同，称为共振荧光；若不同，则称为非共振荧光。共振荧光强度大，剖析中使用较多。在必定条件下，共振荧光强度与样品中某元素浓度成正比，然后经过测验共振荧光的强度来确定待测元素的含量。